PGI輪廓儀技術信息

技術亮點

PGI輪廓儀采用先進的非接觸式白光干涉（White Light Interferometry, WLI）技術，結合高精度的Z軸掃描系統，能夠實現亞納米級的垂直分辨率。其核心優勢在于：

高分辨率與高動態范圍：PGI可在微米至毫米級的測量范圍內，實現表面粗糙度、輪廓、平面度、波紋度等參數的精確分析，適用于從超光滑表面到復雜幾何結構的廣泛樣品。

快速三維成像：通過高速掃描與圖像拼接技術，PGI可在短時間內完成大面積三維表面形貌的重建，顯著提升測量效率。

多功能集成：支持多種測量模式，包括點測、線掃、區域掃描等，配合強大的分析軟件，可滿足ISO、ASME等國際標準的評定需求。

應用領域

PGI輪廓儀廣泛應用于：

半導體制造：用于晶圓表面缺陷檢測、薄膜厚度測量及光刻膠輪廓分析。

光學元件檢測：對透鏡、反射鏡等光學表面的面形誤差進行高精度評估。

生物醫學材料：研究植入物表面微結構對細胞附著的影響。

科研與教育：為材料科學、納米技術等領域提供可靠的實驗數據支持。